环氧乙烷灭菌是一种低温灭菌过程，旨在对对热和/或湿气敏感的仪器或设备进行灭菌。ETO是一种易燃易爆的无色气体。四个基本参数（操作范围）是：气体浓度（450至1200毫克/升）; 温度（37至63°C）; 相对湿度（40至80％）（水分子携带ETO到反应位点）; 和暴露时间（1至6小时）。这些影响了ETO灭菌的有效性。在某些限制内，气体浓度和温度的升高可缩短实现灭菌所需的时间。
基本的ETO灭菌周期包括五个阶段（即预处理和加湿，气体引入，暴露，疏散和空气清洗），并且需要大约2-1 / 2小时，不包括曝气时间。在50至60℃下机械通气8至12小时允许解吸暴露的吸收材料中所含的有毒ETO残余物。大多数现代ETO
灭菌器将灭菌和通气结合在同一腔室中作为连续过程。这些ETO型号可zui大限度地减少门打开和负载传递到曝气器时潜在的ETO暴露。环境室通风也将实现有毒ETO的解吸，但需要在20°C下7天。
